第(1/3)頁 通過將精細電路圖案曝光在稱為晶圓的半導體基板上而制成的。 而光刻機設備的作用就是在掩膜版上繪制的電路圖案,通過投影透鏡縮小,再將圖案曝光在硅晶圓上。 光刻機作為芯片生產過程中,復雜性最高,技術含量最高的設備,被稱為半導體工業皇冠上的明珠。 芯片生產,光刻機是很重要。但也只是沉積,光刻,刻蝕,離子注入、清洗、氧化、檢測,這前七道生產芯片工藝環節中的一道環節設備。 單單靠一臺光刻機,就直接造出一枚枚芯片出來,這簡直就是天方夜譚的事。 木村光一帶著眾人來到了一臺顯微鏡邊,他拿出了一片晶圓遞給徐教授,并說道:“這片晶圓的芯片,光刻環節是由霓糠公司N79K光刻機完成的。” 很顯然,他是想讓徐教授去觀看芯片里的微觀結構,來證明霓糠公司的光刻機是不是真的已經達到一微米了。 “謝謝!”徐教授說完接過晶圓,并把它放在顯微鏡下,仔細的看了起來。 現場異常的安靜…… 也不知道過了多久..... 徐教授深吸一口氣,默不作聲,離開了顯微鏡。 “老徐,怎么樣?” “是啊!老徐,你倒是說句話啊!” 徐教授無奈的回答道:“你們自己看吧!” 聞言,陳工、王工、李工、趙工等眾人也輪流觀看起顯微鏡下芯片里的晶圓微觀結構。 陳工最先開口:“這片芯片的工藝節點精度數,比我們造的芯片工藝節點精度數,要小很多。 每一塊芯片里面,容納的晶體管數至少有十幾萬個。” 王工看向徐教授,“確實是使用了一微米曝光度的光刻機,可以不用懷疑。 現在,島國光刻機技術毋庸置疑,已經是最強國家了。” 1亳米=1000微米 1微米=1000納米 第(1/3)頁