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    我們剛剛討論的困難只是暫時的困難。”

    ASML、尼康和佳能只是暫緩了在ArF上的投入，而不是停止了在ArF技術路線上的投入。

    后來ASML實現彎道超車，也是因為他們選擇了正確的技術路線，ArF光源以水為介質，在光刻膠上面抹一層水。

    水的介質折射率是1.44，193納米÷1.44≈134納米，ArF光源的波長進一步減少了。

    ASML能夠干掉尼康和佳能，壟斷光刻機領域，他們在技術路線的兩個關鍵節點都做出了正確的選擇。

    應該穩健的時候他們比尼康穩健，從而在光刻機市場站穩了腳跟。

    應該激進的時候他們比尼康激進，從而占據了高端市場，把高額利潤全部吃掉了，后續一直保持住了技術領先。

    ArF技術路線突破之后，ArF的波長是193nm，他最多能夠制造65nm的芯片。

    如果要制造40nm制程以下的芯片，需要找到160nm以下的光源。

    尼康和佳能等企業選擇的是157nm的F2激光，而ASML找到了光源做介質直接一步到位了。

    當然沒有加一層水那么簡單。

    “我關于ArF技術路線一直認為是有辦法解決的。

    首先是需要專門針對ArF光源設計對應的光刻膠，其次是研發抗反射涂層，然后是改進光刻機的光學系統，找蔡司定制更先進的透鏡。

    來實現更高的數值孔徑和分辨率。

    同時在曝光過程中進行優化。我專門針對ArF光源設計了一套分辨率增強技術。

    包括輔助特征、離軸照明、雙曝光技術等，用以改善圖案傳輸質量和提高分辨率。”林本堅很興奮，難得見到這么懂ArF技術的同行。

    其他懂這玩意的都簽了保密協議，林本堅和他們聊的很不盡興。

    華國差的不僅僅是光刻機，差的是整個高端制造業，即便能造出光刻機，光學鏡頭也能卡你脖子。

    不過蔡司是德意志企業而且沒上市，阿美利肯的長臂管轄管不到蔡司。

    周新聽完之后感慨對方不愧是大師級人物，還沒有加入臺積電已經有完整的計劃了。

    同樣一件事，有的人是紙上談兵，有的人是決勝千里之外。

    華國價值觀以結果為導向，周新知道林本堅未來的成就，更別說林本堅說的這些都是絕對的干貨。

    又和林本堅探討了一番ArF技術路線的未來后，周新問：“林伯，我打算成立一家光刻機公司，我需要真正懂行的人來幫我。

    你有沒有意愿來幫我做事，我給你的職位是研發主觀。

    首批研發資金十億美元，我給你百分之二十的股份，但是你加入之后需要簽競業協議，同時我們的光刻機公司會放在華國。”

    林本堅聽完前半句話想馬上答應下來，十億美元的研發資金，百分之二十的股份。

    這是何等的信任，光是十億美元的研發資金，這家企業也最少值10億美元。

    直接就是給你兩個億。

    聽完后半句他心一涼：“Newman，我知道你是華國人，希望幫助華國在半導體領域有所發展。

    我也是華裔，在有能力和有機會的前提下，我同樣希望為華國的半導體行業發展進步貢獻自己的力量。

    但是光刻機的研發，非常依賴于和芯片制造廠商之間的合作。

    華國沒有什么成熟的芯片制造廠商，我們把研發基地放在華國，很難有所進展。

    不管我是否答應你的條件，我都建議你放在彎彎或者阿美利肯。

    彎彎有臺積電，阿美利肯有英特爾的芯片代工廠。

    在這兩個地方，你才有機會把你的產品在生產環境中經過充分的實驗。”

    ASML的研發中心遍布全球。

    周新說：“世大半導體的張汝京在籌備回華國成立芯片代工廠的事情。

    他們的選址、資金和團隊都已經就位了。

    我們前期籌備階段和實驗室研發階段，這個時期是不需要和代工廠合作的。

    我們的進度會比張汝京那邊的進度更慢，等到我們的實驗室產物研發出來之后，正好可以送到他們那里去進行驗證。

    張汝京的芯片代工廠，剛剛起步的時候我們才有機會進去。

    無論是臺積電、英特爾還是三星，他們都很難給一家新成立的光刻機公司機會。

    讓我們的實驗室產物介入他們的生產流程中。

    反而在我看來，華國才是機會所在，我們需要借助華國的代工廠打出名氣，然后才有機會和其他的芯片代工廠合作。

    這也是農村包圍城市的打法。”
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