第(2/3)頁 干式光刻機(jī)在193nm波長下的極限就是65nm，除非找到波長更短的光。 新芯光刻機(jī)從2000年，林本堅正式加入新芯光刻機(jī)之后，他作為新芯光刻機(jī)的CEO就開始做浸潤式光刻機(jī)的理論研究，以及少數(shù)論證實(shí)驗。 在2003年周新回國前夕和林本堅長談后，周新的支持讓新芯光刻機(jī)正式開始浸潤式光刻機(jī)的研究，周新利用自己的人脈關(guān)系，找到蔡司背后的國際資本集團(tuán)，通過一系列的利益交換，讓蔡司全力配合新芯光刻機(jī)的研發(fā)。 進(jìn)入到2006年之后，新芯光刻機(jī)基于浸潤法的光刻機(jī)已經(jīng)研發(fā)出了樣品，當(dāng)世界上最先進(jìn)工藝是65nm時，通過浸潤法把波長從193nm縮短到134nm，順利把芯片的最先進(jìn)制程從65nm推進(jìn)到了40nm。 新芯內(nèi)部由關(guān)建英、胡正明、林本堅、周新和梁孟松搞了一個小型的慶祝晚宴，來慶祝新芯科技把極限制程從65nm推進(jìn)到了40nm。 對新芯來說，這就是一座金山，并且技術(shù)的優(yōu)勢能讓Mphone比市面上其他手機(jī)領(lǐng)先一代。 Matrix有三年時間沒有發(fā)新機(jī)了，其他手機(jī)巨頭們陸續(xù)攻克了多點(diǎn)觸控觸摸屏技術(shù)。 最初各家手機(jī)廠商還有一些別的想法，想在智能手機(jī)領(lǐng)域搞一些創(chuàng)新，等這些創(chuàng)新陸續(xù)失敗，哪怕是被諾基亞寄予厚望的N97在市場上同樣表現(xiàn)平平，而微軟收購Plam后照著Mphone2推出的Plam 1大獲成功后。 去年各大手機(jī)廠商推出的智能機(jī)都照著Mphone2的樣子，盡可能1比1還原，這也讓Mphone2失去了原本的優(yōu)勢，每年推出新配色很難再吸引用戶換機(jī)。 這不代表Mphone2在過去一年時間里銷量不好，作為智能手機(jī)行業(yè)絕對的王者，即便Mphone沒有更新，銷量依然占據(jù)榜首，只是說因為Matrix遲遲不推出Mphone3，導(dǎo)致老用戶缺乏更換新機(jī)的動力。 光刻機(jī)工藝突破到40nm，加上屏下指紋技術(shù)成熟，周新知道Matrix再次給世界帶來震撼的時候到了。 “林叔，這兩年辛苦了，新芯光刻機(jī)的成功能讓業(yè)界重新認(rèn)識新芯。 新芯光刻機(jī)也是時候改變現(xiàn)有格局了。”他們四個都不喝酒，晚上喝茶會睡不著，所以大家杯子里都是水，周新連杯子都沒有舉，純在干聊。 林本堅很感慨：“我雖然知道這條技術(shù)路線一定可以，我從來沒有懷疑過自己。 但是真正在做出來的這一刻，還是讓我很感慨，有種自己人生四十年的堅持終于獲得了回報。” 林本堅在離開IBM之后，他是屬于被IBM內(nèi)退，因為他所堅持的技術(shù)路線不被IBM光源這個研究方向的負(fù)責(zé)人看好，有點(diǎn)被趕出來的意思。 在場的四個人里，只有胡正明還好，伯克利一直對他不錯，其他三個人多多少少都有點(diǎn)辦公室政治斗爭的失敗者。 在成功研發(fā)浸潤式光刻機(jī)之后，林本堅的職業(yè)生涯迎來了某種程度上的圓滿。 周新說：“我一直相信這一點(diǎn)，新芯天生具備成功的基礎(chǔ)。 和ASML相比，我們有著芯片生產(chǎn)的制造環(huán)節(jié)，這種優(yōu)勢讓我們在測試浸潤式的時候更有優(yōu)勢。” 梁孟松作為去年才加入新芯的新人，因為其在臺積電的戰(zhàn)績驚人以及胡正明學(xué)生的身份，周新給予了他很大的信任，幾乎是加入新芯后的第一時間就讓他擔(dān)任了新芯芯片制造環(huán)節(jié)的負(fù)責(zé)人。 同時因為梁孟松身上有競業(yè)協(xié)議，新芯為他繳納了高達(dá)兩千萬美元的巨額違約金。 梁孟松加入后也不孚眾望，短短半年時間讓新芯在90nm制程中再度實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破和良品率的提升。 同時他加入后一手主導(dǎo)了新芯在獅城65nm生產(chǎn)線的建設(shè)，目前也即將投產(chǎn)。 林本堅說：“主要還是這條路線確實(shí)可行，路線可行，只要投入時間和足夠的資源遲早能夠看到成果。 我們算是比較幸運(yùn)的了，能夠趕在尼康和佳能在做出157nm光源前順利完成浸潤式光刻機(jī)的研發(fā)。” 新芯選擇的是后世ASML的技術(shù)路線，也就是浸潤式光刻機(jī)，而尼康、佳能包括ASML在當(dāng)下，都選擇的是研究波長更短的光源。 后世在ASML推出浸潤式光刻機(jī)，成功把芯片制程推進(jìn)到40nm之后不久，尼康就順利研發(fā)出來了基于157nm光源的干式光刻機(jī)。 可惜太晚了，那個時候ASML已經(jīng)占據(jù)了40nm光刻機(jī)的主流市場，尼康一步慢步步慢，喪失了整個光刻機(jī)市場。 現(xiàn)在是最好的時間，光源還沒有實(shí)現(xiàn)突破，新芯已經(jīng)率先實(shí)現(xiàn)突破，直接繞過了65nm進(jìn)入到40nm制程。 胡正明說：“我們速度需要快，盡可能快的推向市場。 同時我們要把新芯的光刻機(jī)推銷出去，之前新芯雖然做光刻機(jī)，但是在全球市場上并沒有我們的名號。 第(2/3)頁