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    林本堅對接受采訪不意外，央媽的團隊是和他們搭乘同一個航班來的東京，在來之前央媽那邊就已經和新芯溝通好了。

    “好的，陳記者，你問吧。”林本堅很淡定，他剛剛做完介紹，還沒有從前面介紹中的興奮狀態中脫離出來，對于和陳曉夏的溝通，他屬于機械式反應。

    “林博士，第一個問題，您覺得新芯的技術突破意味著什么？對于光刻機領域，對于半導體領域來說？”

    “意味著困擾業內長達二十年的光源問題得以解決，從90年代開始，光源波長就從365nm降低到了193nm，但是業界一直無法實現突破。

    新芯這次實現了光源波長的突破，從40nm到20nm都將是一馬平川，再無困難點阻礙。

    半導體行業依然會按照摩爾定律繼續發展，一直到遇到新的瓶頸。”林本堅說得云淡風輕，心里卻很得意。

    他在現場看到了之前IBM的老熟人，也是他的對手，IBM光源團隊的負責人鮑里斯·利普金。

    之前在IBM的時候，他堅持深紫外光或者浸潤法來突破193nm波長的限制，而鮑里斯堅持X光，林本堅后來被IBM“內部退休”和鮑里斯不無關系。

    看到臺下的敵人、朋友、對手、合作伙伴，大家雖然有著不同的立場，但是都在為半導體技術又一次進步而鼓掌而高興，這技術進步是自己帶來的，林本堅感到由衷的開心。

    陳曉夏不太能體會林本堅的心情，他知道這很重要，不重要央媽也不會派一整個團隊跑過來，他不知道具體有多重要，聽完林本堅的回答后，陳曉夏有了更加直觀的感受。

    20年的難題被解決了，這確實是值得大書特書的事情，還是由我們華國的企業實現了這一突破。

    “林博士，這次的技術突破你們是如何做到的？如何超越尼康、佳能以及荷蘭的ASML這些公司？

    他們在光刻機領域都有著比較悠久的歷史，新芯是如何實現的趕超呢？”

    林本堅說：“因為我們選擇了正確的方向。

    我們采取的是和其他公司都截然不同的方向。

    在上世紀90年代末的時候，當時業內就提出了各種各樣突破193nm波長的方案，其中包括157nm F2激光，電子束投射，離子投射、深紫外光和X光等等。

    其中X光、電子束投射、離子投射都太遙遠了，屬于是有這個想法，理論來說可行，材料學的現狀決定了不現實，這些只是前置研究。

    最普遍的是157nm的F2激光，尼康、佳能、ASML都走的是這一技術路線。

    但是這一技術路線同樣有一些難點要克服，比如說157nm波長的光會被193nm波長光源光刻機的鏡片吸收，他們要重新研制鏡片，光刻膠也要重新研發，他們要克服的困難比我們更多。

    我們采用的浸潤法從方向上來說，可以是最簡單的解決方案。我在和Newman討論之后，確定了技術方向，然后朝著這一技術方向前進，沒多久就實現了突破。”

    林本堅很自豪，記者則敏銳捕捉到了新聞熱點，和周新相關的都是新聞熱點，陳曉夏連忙問：“林博士，您剛剛提到了Newman，是我所理解的周新嗎？”

    林本堅點頭：“沒錯。”

    陳曉夏繼續問：“您的意思是周新博士在其中也起到了作用對嗎？”

    林本堅笑道：“他是老板，我們走的技術路線和其他公司都不一樣，他得拍板干不干。

    我在和他介紹了我的想法，以及為什么我認為浸潤法這一技術路線有戲之后，他當時立刻說好，我同意你的想法，于是我們進一步討論了浸潤法達成了一致，后面新芯開始把所有資源投入到浸潤法的研發中。

    我們順利在今年年中的時候完成了驗證，現在新芯的浸潤式光刻機已經開始進入到我們的生產環節中去了。”

    陳曉夏下一個問題有些敏感：“我們都知道因為瓦森納協定的緣故，華國的半導體企業一直都無法實現最先進的半導體制程。

    一般最少比國外的最先進制程落后一代，上世紀九十年代初的時候甚至落后2.5代。
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